ผงซักฟอกสำหรับอุตสาหกรรมเคมีโฟม / ซิลิกอน Slice

ผงซักฟอกอุตสาหกรรมเคมีโฟม / ซิลิคอน Slice ผงซักฟอกต่ำ 1.01-1.25

การทำความสะอาดสารเคมีอุตสาหกรรมเบื้องต้น

ความบริสุทธิ์ของพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์เป็นสิ่งจำเป็นที่จำเป็นสำหรับการสร้างวงจรซิลิคอน VLSI และ ULSI ที่ประสบความสำเร็จ เคมีการทำความสะอาดเวเฟอร์ยังคงไม่เปลี่ยนแปลงในช่วง 25 ปีที่ผ่านมาและใช้สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ร้อนและกรดร้อนซึ่งเป็นกระบวนการที่เรียกว่า "RCA Standard Clean" นี่เป็นวิธีการหลักที่ใช้ในอุตสาหกรรม สิ่งที่เปลี่ยนไปคือการนำไปใช้งานกับอุปกรณ์ที่ได้รับการเพิ่มประสิทธิภาพ: จากการแช่แบบง่าย ๆ ไปจนถึงการฉีดแบบแรงเหวี่ยงเทคนิคเมก้าและการประมวลผลระบบปิดซึ่งช่วยให้สามารถกำจัดทั้งฟิล์มและอนุภาคที่ปนเปื้อนได้ในเวลาเดียวกัน การปรับปรุงการอบแห้งแผ่นเวเฟอร์ด้วยการใช้ไอโซโพรพานอลหรือโดยการ“ ดึงช้า” ออกจากน้ำที่ปราศจากไอออน นอกจากนี้ยังมีการทดสอบวิธีการทำความสะอาดแบบทางเลือกหลายวิธีรวมถึงการแก้ปัญหาด้วยโคลีนการแกะสลักไอสารเคมีและการบำบัดด้วย UV / โอโซน

ขั้นตอนแรก: ทำความสะอาดตัวทำละลาย

ตัวทำละลายถูกใช้เพื่อกำจัดน้ำมันและสารอินทรีย์ออกจากพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ในขณะที่ตัวทำละลายจะกำจัดสิ่งปนเปื้อนออก แต่พวกมันยังทิ้งสิ่งตกค้างของตัวเองไว้บนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ ด้วยเหตุนี้จึงใช้วิธีการสองตัวทำละลายเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์นั้นสะอาดเท่าที่จะเป็นไปได้

ขั้นตอนที่สอง: ทำความสะอาด RCA-1

สารตกค้างที่เหลือจากตัวทำละลายจะได้รับการทำความสะอาดด้วย RCA อาร์ซีเอทำความสะอาดออกซิไดซ์ซิลิคอนจึงให้ชั้นป้องกันบาง ๆ ของออกไซด์กับพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์

ขั้นตอนที่สาม: จุ่มกรดไฮโดรฟลูออริก

ขั้นตอนสุดท้ายคือการจุ่มกรดไฮโดรฟลูออริก การจุ่ม HF ใช้เพื่อกำจัดซิลิคอนไดออกไซด์ออกจากพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน HF เป็นสารเคมีที่อันตรายมากดังนั้นจึงเป็นสิ่งสำคัญที่ขั้นตอนนี้จะต้องทำในขณะที่สวมใส่อุปกรณ์ป้องกันเช่นถุงมือหนักและแว่นตา

พารามิเตอร์ทางเทคนิค การทำความสะอาดเคมีอุตสาหกรรม

คำแนะนำในการ ทำความสะอาดสารเคมีอุตสาหกรรม

1) ใส่น้ำบริสุทธิ์ลงในถังทำความสะอาดจนถึงสามในสี่จากนั้นเพิ่มตัวแทนในความเข้มข้น 3% -5% เติมน้ำจนถึงระดับการทำงานสุดท้ายให้ความร้อนกับสารละลายอาบน้ำจนถึงอุณหภูมิในการทำงาน

2) จำเป็นต้องเปลี่ยนวิธีการแก้ปัญหาการอาบน้ำอย่างสมบูรณ์หลังจากล้างไขมันชิ้นซิลิคอนจำนวนหนึ่ง

3) ลดเวลาสัมผัสในอากาศเพื่อหลีกเลี่ยงการเกิดออกซิเดชัน

4) อุณหภูมิในการทำงาน 50-65 องศาเวลาในการกำจัด: 2-5 นาที

หมายเหตุ

1) โซล่าร์บาร์ไม่สามารถสัมผัสน้ำได้จำเป็นต้องจุ่มลงในโซลิกรีนหรือน้ำยาล้างไขมันหากไม่สามารถทำความสะอาดได้ทันเวลา

2) จำเป็นต้องกำจัดโซล่าร์บาร์ให้ทันเวลาที่มันเข้าสู่กระบวนการล้างไขมันเพื่อหลีกเลี่ยงอากาศแห้ง

3) ให้แถบพลังงานแสงอาทิตย์เปียกเมื่อ deguming เพื่อหลีกเลี่ยงอากาศแห้ง

4) เพื่อหลีกเลี่ยงส่วนจำเป็นต้องปิดสวิทช์ฟองของถัง no1 และ no2 เมื่อล้างไขมันอัลตราโซนิกจากนั้นเปิดสวิตช์หลังจากการแก้ไข

5) จำเป็นต้องเปลี่ยน no.6 5.6 และ 7 ถังหลังจากหนึ่งรอบล้างไขมัน

6) ชิ้นซิลิคอนไม่สามารถสัมผัส คนงานต้องทำงานกับถุงมือเพื่อหลีกเลี่ยงลายนิ้วมือ

7) เพื่อให้บรรลุการกวาดล้างต้องฉีดชิ้นซิลิกอนอย่างน้อย 30 นาทีก่อนที่จะลอกกาว

6. การเพิ่มเติม

1) การบรรจุ: 20 กิโลกรัม / กล่อง (2 กิโลกรัม / ขวด), 25 กิโลกรัม / บาร์เรลพลาสติก, 1000 กิโลกรัม / บาร์เรล

2) เวลาที่ใช้งานได้: หนึ่งปี