น้ำยาล้างแผ่นซิลิกอนอุตสาหกรรมประเภทสองกลุ่มเข้มข้น

น้ำยาล้างแผ่นซิลิกอนอุตสาหกรรมสำหรับใช้ในกลุ่มเข้มข้น

เพื่อทำความสะอาดเวเฟอร์ซิลิคอนอย่างมีประสิทธิภาพสูงสุดผู้ผลิตซิลิโคนแนะนำขั้นตอนการทำความสะอาดต่อไปนี้:

ขั้นตอนที่หนึ่ง: ตัวทำละลายที่สะอาด

ธุรกิจการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ใช้ตัวทำละลายเพื่อกำจัดน้ำมันและสารอินทรีย์ตกค้างจากพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ในขณะที่ตัวทำละลายจะกำจัดสิ่งปนเปื้อนเหล่านี้ แต่ตัวทำละลายเองก็ทิ้งคราบไว้บนพื้นผิวของเวเฟอร์เช่นกัน ด้วยเหตุผลนี้จึงมีการใช้วิธีการสองตัวทำละลายเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์กลับสู่สภาพปลอดสารปนเปื้อน วิธีทำความสะอาดตัวทำละลายดังแสดงด้านล่าง:

เตรียมสองห้องอาบน้ำหนึ่งภาชนะแก้วที่มีอะซิโตนและอีกหนึ่งที่มีเมทานอล

วางภาชนะอะซีโตนลงบนจานร้อนเพื่อให้ความร้อนอะซิโตนมีอุณหภูมิไม่เกิน 55 °ซ

เมื่ออุ่นแล้วนำซิลิคอนเวเฟอร์ไปแช่ในอะซิโตนเป็นเวลา 10 นาที

หลังจากที่อะซิโตนอาบเสร็จแล้วให้นำแผ่นซิลิคอนเวเฟอร์และใส่ลงในภาชนะเมทานอลเป็นเวลา 5 นาที

เมื่อเวลาหมดให้ถอดเวเฟอร์ออกจากเมทานอลแล้วล้างออกด้วยน้ำสะอาด

เป่าซิลิคอนเวเฟอร์ด้วยไนโตรเจนให้แห้ง

ขั้นตอนที่สอง: ทำความสะอาด RCA-1

ผู้ที่อยู่ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จากนั้นใช้ RCA สะอาดเพื่อกำจัดสารอินทรีย์ อาร์ซีเอสะอาดจะออกซิไดซ์ซิลิกอนและให้ชั้นป้องกันบาง ๆ แก่พื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ วิธีการทำความสะอาด RCA-1 ได้อธิบายไว้ด้านล่าง:

เริ่มต้นเตรียมอ่างอาบน้ำอาร์ซีเอโดยการรวมน้ำ 5 ส่วน DI กับแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ 1 ส่วน (27%)

วางภาชนะอาร์ซีเอบนแผ่นความร้อนเพื่อให้สารละลายร้อนที่อุณหภูมิประมาณ 70 °ซ

เมื่ออุณหภูมินี้ถึงอุณหภูมิแล้วให้นำภาชนะออกจากจานร้อนแล้วเติมไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 1 ส่วน (30%) วิธีการแก้ปัญหาจะฟองหลังจากหนึ่งหรือสองนาที

เมื่อสารละลายเริ่มเป็นฟองให้แช่ซิลิคอนเวเฟอร์เป็นเวลาประมาณ 15 นาที

เมื่อหมดเวลาให้นำเวเฟอร์ออกจากอ่างอาร์ซีเอแล้ววางลงในภาชนะที่มีน้ำ DI เปลี่ยนน้ำหลาย ๆ ครั้งเพื่อล้างสารละลาย

หลังจากกระบวนการนี้ให้เอาแผ่นเวเฟอร์ออกจากภาชนะใต้น้ำที่ไหลเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีสารตกค้างจากผิวน้ำเกาะติดกับแผ่นเวเฟอร์

ขั้นตอนที่สาม: Dip กรดไฮโดรฟลูออริก (HF)

จากนั้นธุรกิจการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จะใช้ขั้นตอนสุดท้ายคือการจุ่ม HF เพื่อกำจัดซิลิคอนไดออกไซด์ออกจากพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน สิ่งสำคัญคือต้องทราบว่า HF เป็นสารเคมีอันตรายดังนั้นผู้ผลิตซิลิโคนแนะนำให้สวมใส่อุปกรณ์ป้องกันเช่นถุงมือหนักและอุปกรณ์แต่งตาตลอดเวลาในระหว่างขั้นตอนนี้ กระบวนการ HF Dip ถูกอธิบายไว้ด้านล่าง:

สร้างคอนเทนเนอร์จุ่ม HF โดยรวมน้ำ 480 มล. กับ 20 มล. HF ใช้บีกเกอร์โพรพิลีนเสมอเมื่อเทียบกับบีกเกอร์แก้วเนื่องจาก HF เป็นที่รู้กันว่ามีปฏิกิริยาที่อันตรายเมื่อสัมผัสกับวัสดุแก้วใด ๆ

หลังจากสร้างสารละลายแล้วให้แช่ซิลิคอนเวเฟอร์เป็นเวลา 2 นาที

เมื่อหมดเวลาให้ถอดแผ่นเวเฟอร์แล้วล้างออกด้วยน้ำ DI

ทำการทดสอบความสามารถในการเปียกน้ำโดยการเทน้ำ DI บนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ หากน้ำกลายเป็นเม็ดเล็ก ๆ แล้วม้วนตัวออกคุณจะรู้ว่าพื้นผิวนั้นมีความไม่ชอบน้ำและปราศจากออกไซด์

เป่าซิลิคอนเวเฟอร์ด้วยไนโตรเจนให้แห้ง

การปฏิบัติตามขั้นตอนข้างต้นที่แนะนำโดยผู้ผลิตซิลิโคนจะช่วยให้ธุรกิจเหล่านั้นในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถเอาชนะความท้าทายของการปนเปื้อนไปยังเวเฟอร์ซิลิกอน

พารามิเตอร์ทางเทคนิคของ Silicon Wafer Cleaning Solution

โรงงานของเรา

โรงงานครอบคลุมพื้นที่ 26,653 ตารางเมตร, การก่อสร้างของการประชุมเชิงปฏิบัติการระดับ, การประชุมเชิงปฏิบัติการระดับ C, คลังสินค้าชั้น C, คลังสินค้าและสิ่งอำนวยความสะดวกเสริมอื่น ๆ เกี่ยวข้องกับสารเคมีมากกว่า 100 ชนิด กำลังการผลิต 11,000 ตัน / ปี

ครั้งแรกที่โปรไฟล์การผลิตของ บริษัท

1. การประชุมเชิงปฏิบัติการ C-class
C, 2 #, 1 # workshop กับ 3 #, 7 # สี่สายการผลิตโดยใช้อุปกรณ์การผลิตที่ปิดรวมถึง 1 #, 2 #, 3 # บรรทัดโดยสายการผลิตอัตโนมัติและตั้งสองสายการบรรจุของเหลวอัตโนมัติเต็มรูปแบบข้อกำหนดการบรรจุ จาก 1L ~ 25L สามารถ ส่วนผสมจะดำเนินการในพื้นที่ปิดผนึกแยกต่างหาก ตามความต้องการของความหลากหลายของผลิตภัณฑ์ห้องควบคุมกลางของสายการผลิต C-class ติดตั้งเครื่องมือและเซ็นเซอร์ทุกชนิดเพื่อสร้างระบบการควบคุมส่วนใหญ่

2. ชั้นเรียนการประชุมเชิงปฏิบัติการ
เข้าร่วมเวิร์กช็อปด้วยเครื่องผสมสามเพลาและเครื่องกระจายความเร็วสูงสามชุดสองชุดอย่างมืออาชีพเพื่อผลิตสีและการเคลือบทุกชนิด

3. คลังสินค้า C
พื้นที่ก่อสร้างคลังสินค้า C มากกว่า 3300 ตารางเมตรและมีเขตเพลิงไหม้สามารถใช้สำหรับการจำแนกประเภทของวัตถุดิบสารเคมีและผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป

4. คลังสินค้า
พื้นที่ก่อสร้างคลังสินค้าสองแห่งที่มีพื้นที่มากกว่า 1,400 ตารางเมตรและมีเขตเพลิงไหม้สามารถใช้เป็นวัตถุดิบเคมีและผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปประเภท B ได้

5. สิ่งอำนวยความสะดวกอื่น ๆ
โรงงานมีสิ่งอำนวยความสะดวกบำบัดน้ำเสียมืออาชีพกำลังการผลิตของ 20T / d หลังจากบำบัดน้ำเสียเป็นน้ำที่ถมคืนสำหรับการผลิต โรงงานติดตั้งอุปกรณ์บำบัดก๊าซเสียสี่ชุดอุปกรณ์บำบัดก๊าซไอเสียทั้งหมดหลังจากปล่อยมาตรฐาน